適用于60系列 半導(dǎo)體工藝產(chǎn)品特點分析

介紹Flowel株式會社的各種產(chǎn)品，包括多年來受到半導(dǎo)體行業(yè)和其他行業(yè)好評的“氟樹脂接頭"。

適用于60系列
半導(dǎo)體工藝

可提供專用夾具
?高性能擴(kuò)口型接頭
?優(yōu)異的液體置換特性
?用途：涂布機(jī)、顯影機(jī)

特征

采用國內(nèi)的喇叭形密封方式。本體和螺母形狀均具有的結(jié)構(gòu)，接近地滿足客戶的要求：清潔安全、不積液、不泄漏、無需重新擰緊，性能配備。非常適合防止 CMP 漿料結(jié)塊、光刻膠起泡和膠凝以及蝕刻和剝離溶液泄漏。

• 高性能火炬配件

• 本體前端及螺母內(nèi)部進(jìn)行錐度加工的結(jié)構(gòu)

• 顯著改善液體替代特性

• 準(zhǔn)備兩種類型的施工方法：冷火炬和熱火炬。

• 最高工作溫度：100℃

• 適用管材尺寸： φ3mm 至 φ25mm、φ1/8″ 至 φ1″

相關(guān)工具

擴(kuò)管時需要特殊工具。有兩種施工方法：“冷"和“熱"。

?冷喇叭口：在室溫下執(zhí)行的安裝方法（杠桿式）
?熱喇叭口：在加熱條件下執(zhí)行的安裝方法（杠桿式、手持式）

“專用工具"有兩種類型：

?杠桿式：杠桿式夾具將杠桿原理應(yīng)用于擴(kuò)口管，因此任何人都可以輕松且均勻地擴(kuò)口管。
?手持式：熱火炬施工專用的手持式夾具。用熱風(fēng)槍加熱管子，使管子張開。
適用于管道長度較短和工作區(qū)域較少的情況。