壓電材料 ScAlN 薄膜厚度檢測技術(shù)介紹

一種行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、價(jià)格低廉、用途廣泛的臺(tái)式薄膜厚度測量系統(tǒng)，已安裝了 5,000 多臺(tái)。它可用于從研發(fā)到生產(chǎn)現(xiàn)場在線測量的廣泛應(yīng)用。
F20可以在1秒左右輕松測量透明或半透明薄膜的膜厚、折射率和消光系數(shù)。
它還支持多點(diǎn)在線測量，并支持RS-232C和TCP/IP等外部通信，因此可以從PLC或上位機(jī)控制。

 ScAlN 薄膜厚度檢測特點(diǎn)

• 支持廣泛的薄膜厚度（1 nm 至 250 μm）

• 支持寬波長范圍（190nm 至 1700nm）

• 強(qiáng)大的膜厚分析

• 光學(xué)常數(shù)分析（折射率/消光系數(shù)）

• 緊湊型外殼

• 支持在線測量

測厚技術(shù)的主要用途

相關(guān)設(shè)備介紹

* 由 Filmometry 提供的在 Si 基板上測量 SiO2 薄膜時(shí)的設(shè)備主體精度。